Eccentricity measuring method, eccentricity measuring device, manufacturing method of aspheric single lens, aspheric single lens, and optical equipment

偏心測定方法、偏心測定装置、非球面単レンズの製造方法、非球面単レンズ及び光学機器

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an eccentricity measuring method capable of separately measuring a face-to-face tilt amount and a face-to-face shift amount of an aspheric single lens accurately in a short time using an eccentricity measuring device with a simple structure. SOLUTION: The coma aberration of an optical system formed of the aspheric single lens 1, or the aspheric single lens 1 and a correcting lens 2 is measured, and the mutual face-to-face tilt amount and/or face-to-face shift amount between a first surface R1 and a second surface R2 based on the measured coma aberration value are calculated. As the coma aberration value, component of tertiary coma aberration and/or quintic coma aberration is used. The coma aberration can be measured using interferometry. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】 簡便な構成の偏心測定装置を用いて、短時間で、かつ、高精度に、非球面単レンズにおける面間ティルト量及び面間シフト量を分離して測定することができる偏心測定方法を提供する。 【解決手段】 非球面単レンズ1、または、非球面単レンズ1及び補正レンズ2からなる光学系のコマ収差を測定し、測定されたコマ収差の値に基づいて第1面R1と第2面R2との間の相互の面間ティルト量及び/又は面間シフト量を算出する。コマ収差の値としては、3次コマ収差及び/又は5次コマ収差の成分を用いる。コマ収差の測定は、干渉法を用いて行うことができる。 【選択図】 図6

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